蔡司高管：中国15年内会造出EUV光刻机！但制裁会把他们逼成“技术疯子”

📋总体概括

蔡司集团半导体事业负责人Frank Rohmund近日受访称，中国开发出EUV光刻机大约还需要15年，并坦言中方实际进展难以量化。蔡司是ASML EUV光刻机光学元件的独家供应商，其表态具有行业参考性。他还明确批评美国出口管制：若扩大至传统DUV设备将对产业不利，制裁不会带来正面效果，反而会加速中国创新。这一判断与ASML CEO富凯此前「收紧管制将加速中国自主研发替代」的表态一致。当前ASML是全球唯一EUV制造商，美国已禁止其向中国出口EUV及部分先进浸润式DUV设备。