国内首台！华海清科全自动板级CMP量产装备出机 已发往先进封装产线

📋总体概括

9月10日消息，华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线投入量产，是国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备，标志我国板级封装核心工艺装备实现从研发到应用的关键跨越。该装备针对大尺寸板级封装设计，具备全板面均匀性与平坦化控制能力，支持低缺陷抛光和智能终点检测、多工艺模式切换。在CoPoS、FOPLP、TGV等先进工艺需求带动下，板级封装加速商业化，国产装备此番落地具重要自主化意义。